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接触式二维形貌测量仪

发布时间:2020-11-15 03:27 作者:银河总站

  接触式二维形貌测量仪_机械/仪表_工程科技_专业资料。在机械行业中,轴承、光学器件、计算机芯片等的运行状况均取决于其表面形貌的实际情况,采用二维形貌测量仪可以精密地对其进行测量。介绍了二维形貌测量仪的测量原理和结构设计,并提出了一整套设计思路和数据处理方法。

  维普资讯 竖 Q = 2 轴承 圣鱼 er n 0 8 No 3 CN 4l—l 4 / l 8 呵H B a ig2 0 , . 2 0 年3 0 8 期 4 3—4 6 接触式二维形貌测量仪 宋晓波 , 李济顺朱孔 , (. 1 河南科技 大学, 南 洛 阳 4 10 ;. 河 7 03 2 洛阳轴承研 究所 , 河南 洛 阳 4 13 ) 7 0 9 摘要 : 在机械行业 中 , 轴承 、 光学器 件、 计算机芯 片等 的运行 状况均取 决于其 表面形 貌的实 际情 况 , 用二维形 采 貌测量仪可 以精密地对其进行测量 。介绍 了二维形貌测量 仪的测量 原理 和结 构设计 , 并提 出 了一整 套设计思 路和数据处理方法 。 关键词 : 动轴承 ; 滚 接触式测量 ; 状误 差 ; 形 粗糙度 中图分类号 :H13 3 ;H T 3 .3 T 7 文献标 志码 : B 文章编号 :0 0—36 ( 0 8 0 0 4 0 10 72 2 0 )3— 0 3— 4 I sr m e tf r M e s r m e to n a tTwo—dm e so a r m e n t u n o a u e n fCo t c . i n in lv o S ONG a Xio— b o 一,L i s u HU Ko g— mi I — h n ,Z J n n ( .H nnU i r t oc ne& Tcn l y uyn 10 。 hn ; 1 ea nv sy f i c e i S e eh o g ,L oag4 0 3 C i o 7 a 2 L oa 8BaigR sac st e u yn 13 , h a . uyn er eerhI t t,L oag4 0 9 C i ) n ni u 7 n Ab t a t I h c a ia ra,t e p r r n e o , f sr c :n t e me h n c lae h ef ma c fc r o e,  ̄ p o u t r al e e d n t e s a e a d f i ft e rd cs g e t d p n s o h h p n n s o y i h h s ra e,f re a l e rn s c lc mp n n s o u e h p , ufc o x mpe b ai ,0 g a o o e t ,c mp trc s i e .Cet rc ef sensc b c e t ran pei n hsouhoj t r- c l g si i es q i 8 r i esr gtesa e f esr c. h esrr c l adsutrei r t d cdf nw I e e s m aui hp t uf e T em auepi i e n rc eds naei r ue r e l p ce r n h oh a np t u g no o a c n a tt o tc wo—dme so a rf e i sr me t n d a c mpe e s to e in n h u h d d t r c si g me o r i n in l o ln tu n .a o lt e d g i g to g ta aa p o e sn t d a e p i f s n h p tfr a d u o w r. Ke r s ol g b a n ;c n a tme s r me t; rf e e rr o g n s y wo d :r l n e t g o t c a u e n p o l r ;r u h e i i i o s 2 0世纪 3 0年 代初 德 国首 先 对 表 面 微 观 粗 糙 度参 数进 行 定 量 测 量 , 后 出现 了一 些 基 于 机 械 随 l 测 量 原理 及 特 点 采用二 维直 角坐标 测量 原理 。 方 向 , 流 电 直 和光学方法实现信号转换 的表面特征记 录仪 器。 美国、 英国等国相继生产了表面轮廓仪 , 并迅速取 得表 面 特征测 量领 域 中 的主 导 地位 。 中国研 究 开 发较 晚 ,0世 纪 5 2 0年 代 开 始 研 究 粗 糙 度测 量 ,0 8 机带动精密滑动导轨作为传感器移动装置 , 并通 过高精度的光栅尺进行测量, 建立 坐标 的精密 测量基准 ;坐标有高精度大量程差动电感式传感 z 器来 实现 二维 形 貌 的测 量 , 柱 导 轨 的上 下 位 移 立 量可通 过绝 对 编 码 器 进行 测 量 和 定 位 ( 程 可 达 行 年代开始研究二维 轮廓测 量。近年来 , 随着 传感 技术 的发展和精密机械制造业 的市场需求 , 二维 形 貌测 量仪开 始逐 步得 到 国 内研 发 人 员 的重 视 和 关注。 触 针式二 维形 貌仪 是 目前 最 常 用 、 可靠 的 最 40 m 以上 ) 0r a 。测 量过程 中, 测件置 于 多维 调整 被 台上 。将 电感 传 感 器 探 头 伸 到 被 测 部 位 , 规 定 按 的 向移动范 围进行测量 , 传感器 的位 移量经前 置 电路处 理及 A D转 换 后 送人 计 算机 , 专 门对 / 在 二维形貌测量仪 , 并且一直是各 国相关 国家标准 及国


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